目錄簡介 目 錄
前 言
1 范圍
2 原理
3 取樣
4 試樣制備
5 夾雜物含且的測定
6 結(jié)果表示
7 試驗(yàn)報(bào)告
附錄A （規(guī)范性附錄） A、B、C、D和DS夾雜物的ISO評級圖
附錄B （資料性附錄） 某一個(gè)視場的評定和超尺寸夾雜物或串（條）狀夾雜物的評定
附錄C （資料性附錄） 檢驗(yàn)結(jié)果典型舉例
附錄D （資料性附錄） 評級圖片級別與夾雜物測定值的關(guān)系
全文頁數(shù) 44