目錄簡(jiǎn)介 目錄
前 言
引 言
1 范圍
2 規(guī)范性引用文件
3 術(shù)語(yǔ)和定義
4 原理
5 裝置和材料
6 測(cè)試程序
7 修正值
8 結(jié)果的表達(dá)
9 驗(yàn)收準(zhǔn)則
10 測(cè)試報(bào)告
附錄 A (資料性附錄) 在粗糙表面上根據(jù)已知膜厚校正儀器的方法
附錄 B (資料性附錄) 多個(gè)讀數(shù)
附錄 C (資料性附錄) 需要特別考慮的區(qū)域
附錄 D (資料性附錄) 特別修正值的確定
附錄 E (資料性附錄) 測(cè)試報(bào)告樣式
參考文獻(xiàn)
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